擴(kuò)散硅壓力變送器DBYG-6000/ST501自儀一廠概述

被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移，正常工作狀態(tài)下，膜片最大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測(cè)這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測(cè)量信號(hào)。超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過(guò)壓時(shí)膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會(huì)產(chǎn)生過(guò)大變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。

擴(kuò)散硅壓力變送器DBYG-6000/ST501自儀一廠主要特點(diǎn)

1、穩(wěn)定性高-每年優(yōu)于0.1%滿量程。

2、溫度偏移小-由于取消了測(cè)量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測(cè)量精度.

3、可靠性好-采用大規(guī)模IC，電路可靠性好，抗干擾性能強(qiáng)。

4、適用性廣-產(chǎn)品具有多種型號(hào)，多種過(guò)程連接形式，可適應(yīng)工業(yè)測(cè)量中的各種介質(zhì)。

5、安裝維護(hù)簡(jiǎn)便產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理，體積小,重量輕，可直接任意位置安裝。

缺點(diǎn)是:

1. 低于0℃后，溫度穩(wěn)定性大幅度降低

2. 不能承受動(dòng)態(tài)壓力

3. 膜片較易損傷

1.可做到極低壓力

2.抗過(guò)載能力強(qiáng)

3.精度高

1. 高壓測(cè)量缺乏優(yōu)勢(shì)

2. 傳感器封裝工藝要求高

擴(kuò)散硅壓力變送器

20世紀(jì)90年代中期，美國(guó)Icscnsor，公司,Nova公司應(yīng)用硅品石和硅品片益合兩項(xiàng)科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開(kāi)發(fā)出具有精度高、重復(fù)性小、抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力變送器

過(guò)程壓力通過(guò)隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U(kuò)散硅膜片上，同時(shí)參考端的壓力(大氣壓)作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個(gè)壓力場(chǎng)，使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸，在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別有兩個(gè)應(yīng)變電阻片，以感受壓力引起的阻值的變化，從而將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào).擴(kuò)散硅在低溫零度以下、高溫85℃以上難以正常使用，也不適用于20MPa以上的高壓。